特許
J-GLOBAL ID：200903056455867410
基板電極部外観検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054185
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260704
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 基板電極部の外観検査を人手を介さず正確かつ短時間で行う。【構成】 カメラ11により搬送中の基板7の電極部を撮像する。画像処理装置31では、撮像された電極部の画像データを取り込んで、その垂直および水平射影データをそれぞれ求め、求められた射影データに基づいて前記画像データの検査対象電極を決定する。次に、決定された検査対象となる各電極画像データを、二値化する。そして、この二値化データに対して電極両端部用および電極中央部用の3つの検査ウィンドウを設定し、各検査ウィンドウ内の画素数を演算する。演算の結果、電極両端部では、検査ウィンドウ内の上下に隣り合う画像データの差分が基準値以上のものを不良と判定する一方、前記電極中央部においては検査ウィンドウ内の面積を測定し、その面積値が判定基準以上であるものを不良と判定する。
請求項（抜粋）：
基板の端部に配列された電極部の欠陥を検出する基板電極部外観検査装置であって、搬送される前記基板の電極部を撮像する撮像手段と、撮像された電極部の画像データを取り込んで、その垂直および水平射影データをそれぞれ求め、求められた射影データに基づいて前記画像データの検査対象電極を決定する検査対象電極決定手段と、決定された検査対象となる電極の画像データを、二値化する二値化手段と、この二値化データに対して電極両端部用および電極中央部用の3つの検査ウィンドウを設定し、各検査ウィンドウ内の画素数を演算する画素数演算手段と、前記電極両端部では、検査ウィンドウ内の上下に隣り合う画像データの差分を求め、各差分が基準値以上のものを不良と判定する一方、前記電極中央部においては検査ウィンドウ内の面積を測定し、その面積値が判定基準以上であるものを不良と判定する判定手段と、を具備することを特徴とする基板電極部外観検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06T 7/00
, H05K 1/11
, H05K 3/00
