特許
J-GLOBAL ID：200903056461605940
タ-ボ分子ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川口 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051084
公開番号（公開出願番号）：特開平11-303791
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：
【要約】【課題】 組立部品の外形寸法を小さくし、パッキン数を減らしたターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】 吸入ポート(10)および吐出ポート(8)を含むハウジング(3)の内部にロータ(2)を収容し、ケーシング(13)の内部にバルブ機構(12)を備えるバルブ(11)に吸入ポートで接続する。バルブのケーシング(13)はポンプのハウジング(3)と一体成形されている。
請求項（抜粋）：
吸入ポート(10)および吐出ポート(8)を含むハウジング(3)の内部にロータ(2)を収容し、ケーシング(13)の内部にバルブ機構(12)を備えるバルブ(11)に吸入ポートで接続されるターボ分子ポンプ(1)において、バルブの前記ケーシング(13)がポンプの前記ハウジング(3)と一体形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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