特許
J-GLOBAL ID:200903056463048143

表面凹凸観察方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高野 茂
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-277398
公開番号(公開出願番号):特開2002-090124
出願日: 2000年09月13日
公開日(公表日): 2002年03月27日
要約:
【要約】【課題】高温の観察対象物表面における概略の凹凸状況が短時間で把握でき、細かい、煩雑な操作を必要としない表面凹凸観察方法および装置を提供する。【解決手段】筒壁体が冷却され、レーザ・スリット光と炉壁面からの反射光を通過させる窓11a,11bを有し、上下動かつ旋回可能に設けられた観察筒11を設け、この観察筒内部に、レーザー発信器13と、炉壁面21aからの反射光をTVカメラ19に導く反射鏡18と、この反射鏡の前面の反射光光路に進退可能に設けたフィルター15と、TVカメラ19とを設けた表面凹凸観察装置。
請求項(抜粋):
観察対象物表面にレーザー・スリット光を投射し、対象物表面をフィルターを介して撮影して得られた撮像(イ)と、対象物表面をフィルターを介さずに撮影して得られた撮像(ロ)を合成し、合成画像上のレーザー・スリット線の歪みと基準となる寸法とを比較して、対象物表面の凹凸程度を求めることを特徴とする表面凹凸観察方法。
IPC (5件):
G01B 11/24 ,  G01B 11/30 101 ,  G01N 21/84 ,  C21C 7/10 ,  F27D 21/02
FI (6件):
G01B 11/30 101 A ,  G01N 21/84 Z ,  C21C 7/10 P ,  F27D 21/02 ,  G01B 11/24 A ,  G01B 11/24 K
Fターム (29件):
2F065AA49 ,  2F065AA54 ,  2F065AA60 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF15 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL22 ,  2F065MM07 ,  2F065MM08 ,  2F065MM16 ,  2F065PP02 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA83 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CC07 ,  4K013CF00 ,  4K056FA19 ,  4K056FA24

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