特許
J-GLOBAL ID：200903056463123153
投影倍率調整装置及びそれを有する投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-099827
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307270
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】 投影露光装置の投影倍率調整用レンズを補正すべき位置に高精度に移動制御可能とし、且つ長期間にわたり安定した補正を可能とする。【構成】 投影倍率を調整するためにレンズ1を光軸方向に移動するためのレンズ移動体6の移動始点と移動終点をそれぞれ検出する検出器16,17を設け、この検出器16,17間におけるレンズ駆動体6の移動量の経時変化を記憶装置30に予め記憶している基準値と比較することによって検知し、この検知結果に基づいてパターンを実際にウエハ25に転写する動作を必要とする移動基準の絶対位置補正の必要時期を判定する。
請求項（抜粋）：
投影光学系の一部をその光軸方向に沿って移動することにより前記投影光学系の投影倍率を調整する投影倍率調整装置において、前記投影光学系の一部と共に移動する移動部材と、前記移動部材が移動始点位置にあることを非接触検出する始点検出器と、前記移動部材が移動終点位置にあることを非接触検出する終点検出器と、前記移動始点位置と前記移動終点位置間の基準距離を記憶する記憶手段と、前記投影光学系の投影倍率を調整する際に前記移動始点位置からの前記移動部材の移動量が指令値に等しくなるように前記移動部材の移動を制御する制御手段と、前記移動始点位置と前記移動終点位置の一方から他方まで前記移動部材を移動させた際の移動量と前記基準距離を比較することにより前記投影光学系の倍率調整量と前記移動部材の移動始点位置からの移動量との関係が所定範囲内か否かを判定する判定手段を有することを特徴とする投影倍率調整装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03B 27/34
, G03F 7/20 521
