特許

J-GLOBAL ID：200903056466518760

走査型光学顕微鏡

発明者： 北川 久雄 ,  小灘 毅
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266308
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107479
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】音響光学偏向素子を使用した走査型光学顕微鏡において、ビデオレート相当の高速走査と、コンフォーカル顕微鏡の理論分解能の達成を図る。【構成】音響光学偏向素子23によって光ビームを偏向させる走査型光学顕微鏡において、音響光学偏向素子23内を伝播させる超音波波面の光軸方向の幅Wを以下のように設定したものである。入射光ビームと超音波波面とのなす角度をθin、音響光学偏向素子23内の音速をV、音響光学偏向素子23の開口幅をD、音響光学偏向素子23での光ビームの最大偏向角をθmax 、高周波掃引信号の周波数時間変化率をA、定数係数をkとして、W≦(k・V2 )/(D・A・tan(θmax -θin))とする。

請求項（抜粋）：

光源からの光ビームが通過する音響光学偏向素子に、高周波掃引信号を音響トランスデューサに印加して発生させた超音波を伝播させることにより、前記光ビームを偏向させて試料を走査し、その試料からの物体光を電気信号に変換して試料の光学情報を得る走査型光学顕微鏡において、前記音響光学偏向素子内で入射光ビームと超音波波面とのなす角度をθin、前記音響光学偏向素子内の音速をV、前記音響光学偏向素子の開口幅をD、前記音響光学偏向素子での光ビームの最大偏向角をθmax 、前記高周波掃引信号の周波数時間変化率をA、係数をkとしたとき、前記超音波は、その波面の光軸方向の幅Wが、 W≦(k・V2 )/(D・A・tan(θmax -θin))を満足するように設定されていることを特徴とする走査型光学顕微鏡。