特許

J-GLOBAL ID：200903056468012139

ウエーハ収容ケース

発明者： 一 啓文 ,  阿部 耕三 ,  大川 真司 ,  石川 俊文 ,  石坂 幸生 ,  斉藤 恒
出願人/特許権者： 株式会社スーパーシリコン研究所 ,  株式会社ボルテックスセイグン ,  芝浦梱包運輸株式会社
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-241599
公開番号（公開出願番号）：特開2000-077512
出願日： 1998年08月27日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【目的】 面接触状態でウエーハを収用し、運搬,保管等の作業を容易にしたウエーハ収容ケースを提供する。【構成】 上側中央部に設けられた収容凹部20の周縁に、通気溝24を介して外気と連通する円筒状窪み21が形成されている。ケース10の輪郭は、嵌合縁13及び内側厚肉部14をもつ長辺部11及び短辺部12で区画されている。短辺部12の嵌合縁13は、反対側に突出した突出部17になっている。ウエーハ30を収用凹部20に配置した後で、突出部17を内側厚肉部14に嵌め合わせると、複数のケース10が嵌合一体化される。

請求項（抜粋）：

相互に繰り返される長辺部及び短辺部で輪郭が区画された薄い8角形状をもち、長辺部及び短辺部に段差を付けて形成された嵌合縁及び内側厚肉部と、上側中央部に形成され、ウエーハの口径に対応した内径をもつ収用凹部と、短辺部に近い位置で収用凹部の周縁に形成され、収用凹部よりも深い窪みと、短辺部の嵌合縁及び内側厚肉部に形成され、窪みを外気に連通させる通気溝と、収用凹部側又は反対側で長辺部及び短辺部の外縁から突出する突出部と、短辺部の下側に設けられた傾斜面とを備え、一方のケースにある突出部を他方のケースにある内側厚肉部に嵌め合わせることにより複数のケースが嵌合一体化されるウエーハ収用ケース。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 V ,  B65D 85/38 R

Fターム (20件)：

3E096AA01 ,  3E096AA14 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096DA04 ,  3E096DA18 ,  3E096EA03X ,  3E096FA01 ,  3E096FA14 ,  3E096FA27 ,  3E096FA28 ,  3E096GA02 ,  3E096GA03 ,  3E096GA04 ,  3E096GA14 ,  5F031BB04 ,  5F031BC01 ,  5F031BC03 ,  5F031MM11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウェハ収納ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-235589   出願人：ソニー株式会社
• ウエハー容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-201704   出願人：日本電気株式会社