特許
J-GLOBAL ID：200903056468156351
微動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-072173
公開番号（公開出願番号）：特開平5-228762
出願日： 1992年02月24日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 対象物を高い微動精度でしかも高い支持剛性を保って微動する。【構成】 ベース部材24と、対象物(バイト50)を載せるための支持部材26と、支持部材26とベース部材24に関連して設けられ、一平面PL内にのみ移動の自由度を持つ一対の板バネ28,30と、一対の板バネ28,30と同一の自由度とバネ定数を持ち、かつ一平面PLに直交する方向にそって支持部材26とベース部材24に関連して設けられた一対の棒状バネ32,34と、一対の板バネ28,30及び一対の棒状バネ32,34で構成されるバネ系によって規制されたことにより一平面PL内にある移動の自由度に従って支持部材26をベース部材24に対して移動させるためのアクチュエータ36,38とを備える微動装置。
請求項（抜粋）：
ベース部材(24)と、対象物(50)を載せるための支持部材(26)と、支持部材(26)とベース部材(24)に関連して設けられ、一平面(PL)内にのみ移動の自由度を持つ一対の板バネ(28,30)と、一対の板バネ(28,30)と同一の自由度とバネ定数を持ち、かつ一平面(PL)に直交する方向にそって支持部材(26)とベース部材(24)に関連して設けられた一対の棒状バネ(32,34)と、一対の板バネ(28,30)及び一対の棒状バネ(32,34)で構成されるバネ系によって規制されたことにより一平面(PL)内にある移動の自由度に従って支持部材(26)をベース部材(24)に対して移動させるためのアクチュエータ(36,38)とを備える微動装置。
IPC (3件)：
B23Q 1/18
, B23B 21/00
, H01L 21/68
