特許
J-GLOBAL ID:200903056480056931

リーク検出装置及びリーク検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 楠本 高義
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-209303
公開番号(公開出願番号):特開2002-022593
出願日: 2000年07月11日
公開日(公表日): 2002年01月23日
要約:
【要約】【課題】 密閉容器のリークを容易かつ正確に検出できるリーク検出装置及びリーク検出方法を提供する。【解決手段】 リーク検出装置10を、密閉容器12のシール材14を包含する第1のチャンバー16と、内部の圧力を変化させることが可能な第2のチャンバー18と、第1のチャンバー16内から第2のチャンバー18内まで接続させて連続した中空部を形成する第1の配管20と、中空部内の圧力を測定する真空ゲージ22とから構成し、真空ゲージ22によって測定した圧力値に基づいてシール材14の密閉状態を検出するように構成した。
請求項(抜粋):
密閉容器のシール材を包含する第1のチャンバーと、内部の圧力を変化させることが可能な第2のチャンバーと、該第1のチャンバー内から該第2のチャンバー内まで接続させて連続した中空部を形成する第1の接続経路と、該中空部内の圧力を測定する圧力測定器とを備え、該圧力測定器によって測定した圧力値に基づいて該シール材の密閉状態を検出することを特徴とするリーク検出装置。
Fターム (3件):
2G067AA38 ,  2G067BB31 ,  2G067DD02

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