特許
J-GLOBAL ID：200903056487693775
ウエハブレーキング装置及びウエハブレーキング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317732
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163134
出願日： 1996年11月28日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 実際のウエハブレーキング動作に先立って、スクライブ作業等の付帯作業を必要としていた。また、ウエハブレーキング時にチップ同士の干渉が発生していた。【解決手段】 結晶質のウエハ5を複数の個片チップに分割するウエハブレーキング装置において、ウエハ5との突き当て部分4を鋭角に形成してなるブレーキングカッター2と、このブレーキングカッター2を支持しかつブレーキングカッター2を所定の方向に超音波振動させる超音波ホーン1とを備える。
請求項（抜粋）：
結晶質のウエハを複数の個片チップに分割するウエハブレーキング装置において、前記ウエハとの突き当て部分を鋭角に形成してなるブレーキングカッターと、前記ブレーキングカッターを支持するとともに、該ブレーキングカッターを所定の方向に超音波振動させる超音波ホーンとを備えたことを特徴とするウエハブレーキング装置。
FI (2件)：
H01L 21/78 F
, H01L 21/78 Q
