特許
J-GLOBAL ID：200903056496365780
真空度自動補正方法とその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-291722
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109522
出願日： 1999年10月14日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 各々コンダクタンスを持つ複数の反応チャンバーを1つのポンプ、コンダクタンスバルブ、真空計で真空度を制御するシステムでは、装置構成、コスト面においても有利であるが、その一方で、各チャンバー毎の真空度が正確につかめない。そのため現状においては、上記の真空計に加えて、各チャンバーの相対値を測定するための真空計を接続して計測を行い、相対表を作成しているが、チャンバーメンテナンス等によるコンダクタンスの変化に対応できないということがある。【解決手段】 各反応チャンバー4a〜4dを開閉可能なバルブ12a〜12dで単一の真空計5に接続し、制御装置13がバルブ12a〜12d,11を切り換え、運転前あるいは運転中に相対値を測定し、補正を行うことで、反応時におけるチャンバー内の真空度を常に一定に制御する。
請求項（抜粋）：
複数の反応チャンバーを共通室を介して互いに接続され、前記共通室を単一のコンダクタンスバルブを介して単一の排気系に接続して排気し、前記反応チャンバーに供給する反応ガスの供給量または前記コンダクタンスバルブを制御して反応チャンバーの真空度を制御するに際し、単一の真空計と前記共通室との間に介装した共通室連通バルブを閉塞して、前記単一の真空計と前記反応チャンバーとの間に介装したチャンバー連通バルブを順に開閉し、チャンバー連通バルブが開放中の特定の反応チャンバーに反応ガスを供給し、前記コンダクタンスバルブを制御して前記真空計の指示値を前記特定の反応チャンバーの目標値に近付け、前記特定の反応チャンバーのチャンバー連通バルブを閉塞して前記共通室連通バルブを開放して前記特定の反応チャンバーの運転中の目標値として記憶し、すべての反応チャンバーについて同様にして運転中の目標値をそれぞれ記憶し、運転中の反応チャンバーの真空度を、この反応チャンバーに供給する反応ガスの供給量または前記コンダクタンスバルブを制御して、前記記憶した各運転中の目標値の中から運転する反応チャンバーに対応して読み出した記憶値に近づくように制御する真空度自動補正方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05D 16/06 L
, G05D 16/02
5H316AA20
, 5H316BB01
, 5H316CC02
, 5H316DD15
, 5H316EE02
, 5H316FF01
, 5H316GG04
, 5H316GG08
, 5H316GG12
, 5H316HH08
, 5H316HH12
