特許

J-GLOBAL ID：200903056500276313

NF▲3▼の処理方法

発明者： 毛利 勇 ,  藤井 正
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-325001
公開番号（公開出願番号）：特開平7-171339
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：

【要約】【目的】 ドライエッチングガスやクリーニングガスとして使用されるNF3 を含有する排ガスを処理する方法を提供する。【構成】 NF3 を含有する排ガスの総流量にF2 、フッ化塩素、フッ化臭素のガスの内少なくとも1種以上を0.05〜10vol%の範囲で添加し、シリコン、窒化珪素、タングステン、タンタル、チタンを主成分とする排ガス処理薬剤と25〜300°Cの温度範囲で反応させる。

請求項（抜粋）：

NF3 を含む排ガスの総流量にF2 、フッ化塩素、フッ化臭素のガスの内少なくとも1種以上を0.05〜10vol%の範囲で添加し、シリコン、窒化珪素、タングステン、タンタル、チタンを主成分とする排ガス処理薬剤と25〜300°Cの温度範囲で反応させ、得られるフッ化物ガスを捕集することを特徴とするNF3 の処理方法。

IPC (5件)：

B01D 53/54 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/68 ,  B01J 20/02 ,  C01B 21/08

FI (3件)：

B01D 53/34 128 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 134 C