特許
J-GLOBAL ID：200903056503346185
プローブ及び検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-224282
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066832
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 被検査物が微小化した場合にも、確実に探針を被検査物の所要個所に接触させて、4端子法による各種テストを行うことを可能とするプローブと、該プローブを使用する検査装置を得る。【構成】 探針は同軸プローブであり、お互いに絶縁された外側プローブピン30と内側プローブピン31とを有し、各プローブピンが個別に沈み込むように構成されている。また、内側プローブピン31の先端は角錘状に形成され、外側プローブピン30の先端は4つ割状に形成されており、どちらもその先端が鋭角状にされている。両プローブピンを使用することにより、プローブの接触を確認することができ、2本のプローブを使用することにより、2つの被検査点間を4端子法により高精度に検査することができる。
請求項（抜粋）：
被検査物に垂直に対向させたピンを前記被検査物の被検査点に接触させてテストを行うプローブにおいて、外側プローブピンと内側プローブピンとを備え、これらのプローブピンがお互いに絶縁されて同軸状に形成され、被検査物に接触したとき個別に沈込むことを特徴とするプローブ。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/28
, H01L 21/66
