レーザアブレーション成膜装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-176627
公開番号（公開出願番号）：特開平8-041631
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：

【要約】【目的】成膜材料のアブレーション局部の形状を一定に保ち複雑な表面形状を有するワークに一様な厚さで長時間連続してレーザアブレーション成膜を施せ、成膜材料の無駄がなく小型の真空排気装置で成膜可能で、ワークの表面温度のみを上昇させて膜質の良いアブレーション成膜を行え、複数の成膜材料をブレンドして成膜できる装置を提供する【構成】真空容器1の内部に設けた、ワーク3と対向した位置へ成膜材料5を供給する成膜材料供給手段6が成膜材料の先端のアブレーションに伴う消耗を補い且つ該先端とワークとの位置関係を一定に保つ成膜材料繰出し機構25を有し、外部の気体レーザ7からのフルーエンス制御されたレーザビーム8を該成膜材料の先端へ照射させるビーム導入手段9を、筒体9aと該筒体のレーザビーム導入側のレーザ導入レンズ9bとレーザビームの放出側の該レーザビームが焦点を結ぶ小さな結合孔9cとで構成した

請求項（抜粋）：

排気手段を有する真空容器の内部に、ワークを保持するワーク保持手段と、該ワークと対向した位置へ成膜材料を供給する成膜材料供給手段と、該真空容器の外部の気体レーザからのレーザビームを該成膜材料の先端へ照射させるビーム導入手段とを設け、該成膜材料供給手段は成膜材料の先端のアブレーションに伴う消耗を補い且つ該先端とワークとの位置関係を一定に保つ成膜材料繰出し機構を有し、該気体レーザは成膜材料の適切な分解を伴うレーザビームのフルーエンスを制御するフルーエンス制御手段を備え、該ビーム導入手段を、筒体と該筒体のレーザビーム導入側に設けたレーザ導入レンズとレーザビームの放出側に設けた該レーザビームが焦点を結ぶ小さな結合孔とで構成したことを特徴とするレーザアブレーション成膜装置。

IPC (2件)：

C23C 14/28 , H01L 21/203

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭58-042770
特開平2-093062
特開昭62-224669

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審査官引用 (7件)

特開昭58-042770
特開平2-093062
特開昭62-224669

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