特許

J-GLOBAL ID：200903056512201157

ワイヤソーの熱交換装置

発明者： 河原井 宏 ,  沢藤 進
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-268319
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094296
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】【課題】熱交換装置を小型にできると共に、加工液中の固形物が加工液冷却経路のパイプ内に詰まる不具合を防止することができるワイヤソーの熱交換装置を提供する。【解決手段】加工液タンク34内に温度検出手段110を設け、この温度検出手段110から得られた測定温度値に従って前記温調ユニット106を制御し、前記温調ユニット106と前記加工液タンク34の間を循環する熱媒体が流れる冷却パイプ102と、加熱手段112とを加工液タンク34の内部に設置した。これにより従来の、加工液36中に含まれる固形物が加工液冷却経路パイプ内部に沈降あるいは固着して詰まる不具合を防止することができるとともに、ワイヤソー10の熱交換装置の構造が単純になる。従って、加工液36中に含まれる固形物が沈降あるいは固着し易い物性を持っていても加工に適した種類の加工液であれば切断加工に使用可能となり、たとえ固形物が沈降あるいは固着した場合であっても加工液タンク内であれば清掃が容易である。

請求項（抜粋）：

被加工物を走行するワイヤ列に押し付けて被加工物を多数枚のウェーハに切断するワイヤソーに設けられ、被加工物の切断部に供給されて回収された加工液を所定の温度に制御するワイヤソーの熱交換装置において、前記熱交換装置は、前記加工液のタンクに設けられた冷却コイルと加工液のタンク外でこの冷却コイル内に流れる熱媒体を冷却する温調ユニットから構成され、前記加工液のタンクまたは温調ユニット内に温度検知手段を設け、この温度検知手段から得られた測定温度値に従って前記温調ユニットを制御する制御手段を設けたことを特徴とするワイヤソーの熱交換装置。

IPC (4件)：

B24B 27/06 ,  B24B 55/02 ,  B28D 5/04 ,  B28D 7/02

FI (4件)：

B24B 27/06 ,  B24B 55/02 Z ,  B28D 5/04 C ,  B28D 7/02

Fターム (23件)：

3C047FF09 ,  3C047FF11 ,  3C047GG13 ,  3C047GG18 ,  3C058AA05 ,  3C058AA07 ,  3C058AA14 ,  3C058AB03 ,  3C058AB04 ,  3C058AC01 ,  3C058AC04 ,  3C058BA08 ,  3C058BC03 ,  3C058CA01 ,  3C058CB05 ,  3C058DA03 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB01 ,  3C069CA04 ,  3C069CB02 ,  3C069DA06 ,  3C069EA03