特許

J-GLOBAL ID：200903056515744003

ウエハ裏面研削用テープおよびその使用方法

発明者： 竹村 康男 ,  成松 治 ,  小松 和義 ,  武内 洋子
出願人/特許権者： 三井東圧化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-330218
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177097
出願日： 1992年12月10日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【構成】 光重合開始剤としてアクリル化ベンゾフェノン化合物を用いた紫外線硬化型粘着剤を、EVAとPPの2層からなる厚さ110μmのフィルムのコロナ処理したEVA面にロールコーターにて塗布し、90°Cで乾燥して塗布厚み30μmの紫外線硬化型粘着剤を有するウエハ裏面研削用テープを得る。【効果】 本ウエハ裏面研削方法によれば大口径ウエハを薄く研削した場合でも、ウエハの破損を防ぎ、かつ、ウエハ表面を汚染しない。

請求項（抜粋）：

一層または二層以上の光透過性のフィルムからなり、少なくともその内の一層がショアーD型硬度が40以下である基材フィルムに光重合性炭素-炭素二重結合を有する光重合開始剤を用いた光硬化型粘着剤を塗布してなることを特徴とするウエハ裏面研削用テープ。

IPC (4件)：

H01L 21/304 331 ,  H01L 21/304 321 ,  B24B 37/04 ,  C09J 7/02 JLE