特許

J-GLOBAL ID：200903056520367277

静電型アクチュエータ及びその製造方法

発明者： 入野田 貢 ,  阿部 修也 ,  大高 剛一 ,  太田 英一 ,  田中 誠
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-131917
公開番号（公開出願番号）：特開2000-318155
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】 駆動電圧の上昇を引き起こすことなく、インク吐出量を可変出来る、高密度インクジェットヘッドを実現する。【解決手段】 静電アクチュエータの駆動方法として、振動板15と絶縁膜14が直接接触する当接駆動を行う場合に、振動板15と個別電極13の絶縁を確保するための絶縁膜14が個別電極13上に形成されている。振動板15と個別電極13の間隔(ギャップ長)が少なくとも二種類以上となるように階段状の段差が形成されている。ギャップ長が二つ以上であれば、アクチュエータの駆動電圧低下の効果が見られるが、段差数の増加に従い、その効果は顕著となる。この場合、個別電極13と絶縁膜14はn段の段差位置まで形成することで、振動板15と電極基板の静電引力の作用する面積を広げることが出来るため、効率的な動作が可能となる。

請求項（抜粋）：

振動板と該振動板とギャップを介して接合された電極基板上に前記振動板に対向して設けられた個別電極を有し、前記振動板と前記個別電極間に駆動電圧を印加し、前記振動板を静電力により変形させる静電型アクチュエータであって、短辺と長辺の長方形で構成された前記振動板と個別電極との間に空隙を形成しているギャップを有し、該ギャップの短辺は凹形状であって、かつ、少なくとも二つ以上のギャップ長を持つ階段状に形成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (15件)：

2C057AF24 ,  2C057AF39 ,  2C057AF52 ,  2C057AF55 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG53 ,  2C057AG54 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP24 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15 ,  2C057CA01