ブラックマトリックス薄膜、多層ブラックマトリックス、カラ-フィルタ基板、ブラックマトリックス薄膜形成用タ-ゲットおよび基板の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：森田寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-015104
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214308
出願日： 1999年01月25日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】クロムに代えることのできる優れた光学特性及び要求される耐食性を兼ね備えたブラックマトリックス薄膜を提供する。【解決手段】 Nbの含有量が1〜35重量%であり、残部が実質的にMoであるブラックマトリックス用薄膜である。またこれにBを0.0001〜1重量%含有することができる。この薄膜はその組成の一部分がそれらの窒化物、酸化物、炭化物あるいは酸窒化物とすることができる。この薄膜を形成するのに使用するターゲットは得るべき薄膜と同一組成のものを使用することができる。

請求項（抜粋）：

【請求項1 】含有する金属元素の重量割合でNbが1〜35重量%であり、残部が実質的にMoである薄膜であることを特徴とするブラックマトリックス薄膜。

IPC (5件)：

G02B 5/00 , C23C 14/34 , G02B 1/11 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335

FI (5件)：

G02B 5/00 B , C23C 14/34 A , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 , G02B 1/10 A

Fターム (37件)：

2H042AA09 , 2H042AA15 , 2H042AA26 , 2H048BA11 , 2H048BA53 , 2H048BB14 , 2H048BB23 , 2H048BB26 , 2H048BB28 , 2H091FA02Y , 2H091FA35Y , 2H091FA37X , 2H091FB08 , 2H091FB13 , 2H091FC01 , 2H091FC02 , 2H091FC26 , 2H091FD06 , 2H091LA01 , 2H091LA12 , 2K009AA06 , 2K009BB02 , 2K009CC02 , 2K009CC03 , 2K009CC14 , 2K009DD04 , 4K029BA21 , 4K029BA50 , 4K029BA55 , 4K029BA58 , 4K029BB02 , 4K029BC01 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029CA05 , 4K029CA06 , 4K029DC04

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