QCMセンサデバイス

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056745
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258324
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 QCMセンサデバイスによる測定セル構成は、参照電極及び対極電極を別途に設けてその位置制御が必要になり、高価で大型化を招く。【解決手段】 QCMセンサデバイスは、水晶基板31に作用電極33Aとその裏面電極33Bの他に、参照電極35及び対極電極34を一体構造で設ける。作用電極とその裏面電極の組と同等の一対の電極を形成し、この一対の電極による振動周波数又はインピーダンスなどの変化の検出で試料溶液等の粘度・温度変化による測定値の補正ができるようにした構造も含む。さらに、支持基板に空気抜き孔や溝を設けたもの、対極電極を作用電極に対向させたもの、作用電極部分のみに試料溜めを設けたものも含む。

請求項（抜粋）：

水晶振動子の作用電極表面を試料ガスや試料溶液に晒したときの水晶振動子の電気的特性の変化から前記作用電極表面での試料成分の吸脱着を検知・定量するためのQCMセンサデバイスにおいて、水晶基板の表裏面に電極を対向させて形成し、前記電極のうち試料ガスや試料溶液に晒される面の作用電極の周辺に、該作用電極の電位を設定するための基準電位を発生する参照電極及び該作用電極表面に試料成分を吸脱着させるための対極電極を形成した構造を特徴とするQCMセンサデバイス。

IPC (3件)：

G01N 5/02 , G01N 27/02 , G01N 33/543 521

FI (3件)：

G01N 5/02 A , G01N 27/02 Z , G01N 33/543 521

Fターム (7件)：

2G060AA05 , 2G060AE40 , 2G060AF06 , 2G060AG05 , 2G060AG10 , 2G060AG11 , 2G060KA05

引用特許：

審査官引用 (2件)

特公平7-058249
特許第2541081号

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