カラーフィルターの製造方法およびカラーフィルターの製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-084584
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275427
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】基板の支持体側から露光する場合に生じる、基板の厚さに依存した光学的回折を防止し、各画素のエッジ部がシャープなカラーフィルターを製造する方法を提供すること。【解決手段】光透過性支持体11上に、光透過性の導電膜12、および光起電力機能を有する光半導体薄膜13を順次積層した基板10を、色材を含有する電着材料を含む電解液20に、少なくとも光半導体薄膜13が接触するように配置し、支持体11側から選択的に光を照射し、前記光半導体薄膜13の光照射部に光起電力を発生させ、電気化学的に前記電着材料を析出させて着色電着膜21からなるカラーフィルター層を形成する工程を含むカラーフィルターの製造方法であって、選択的に照射された光を、台形ミラー16、凹面ミラー28及び凸面ミラー30を備えたミラー投影光学系により前記光半導体薄膜13の表面に結像させることを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。

請求項（抜粋）：

光透過性支持体上に、光透過性の導電膜、および光起電力機能を有する光半導体薄膜を順次積層した基板を、色材を含有する電着材料を含む電解液に、少なくとも光半導体薄膜が接触するように配置し、支持体側から選択的に光を照射し、前記光半導体薄膜の光照射部に光起電力を発生させ、電気化学的に前記電着材料を析出させて着色電着膜からなるカラーフィルター層を形成する工程を含むカラーフィルターの製造方法であって、支持体側から選択的に照射された光を、ミラー投影光学系により前記光半導体薄膜の表面に結像させることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

IPC (5件)：

G02B 5/20 101 , C09D 5/44 , C09D 7/12 , G02B 5/00 , G02F 1/1335 505

FI (5件)：

G02B 5/20 101 , C09D 5/44 , C09D 7/12 Z , G02B 5/00 B , G02F 1/1335 505

Fターム (24件)：

2H042AA06 , 2H042AA08 , 2H042AA26 , 2H048BA62 , 2H048BB02 , 2H048BB14 , 2H048BB42 , 2H048BB46 , 2H091FA02Y , 2H091FA35Y , 2H091FB02 , 2H091FB12 , 2H091FC06 , 2H091FC10 , 2H091FC29 , 2H091GA03 , 2H091GA11 , 2H091LA12 , 2H091LA21 , 4J038AA011 , 4J038HA211 , 4J038NA20 , 4J038PA07 , 4J038PB08

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