蒸着源用るつぼ、及び蒸着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-041177
公開番号（公開出願番号）：特開平11-222667
出願日： 1998年02月06日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】蒸着材料を溶融させるのに適したるつぼ、及びそのるつぼを用いた蒸着装置を提供する。【解決手段】このるつぼ4、6、7は、高融点金属で構成された外側容器10、12、14が、耐熱性セラミックスで構成された内側容器11、13、15にはめ込まれている。内側容器11、13、15内にカソード電極膜の蒸着材料を配置し、るつぼ4、6、7を外側から加熱すると、蒸着材料を溶融させることができる。内側容器11、13、15が割れた場合でも、溶融した蒸着材料は、外側容器11、13、15内に溜まり、真空槽内に漏れ出すことはない。

請求項（抜粋）：