特許
J-GLOBAL ID：200903056528642773
鏡面ウエハ運搬用収納容器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-133676
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326679
出願日： 1992年05月26日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】化合物半導体鏡面ウエハの鏡面状態の劣化低減を可能とする。【構成】外気との間を遮断した密閉構造よりなる鏡面ウエハ収納空間を有し、かつウエハ収納状態では外部からの光を遮断する鏡面ウエハ運搬用収納容器1が、ウエハ収納空間内の雰囲気ガスを不活性ガスに置換する機能を持っていることを特徴とする。【効果】鏡面ウエハ収納空間内の雰囲気ガスの清浄度が長期間にわたって維持されるようになる。
請求項（抜粋）：
外気との間を遮断した密閉構造よりなる鏡面ウエハ収納空間を有し、かつウエハ収納状態では外部からの光を遮断する鏡面ウエハ運搬用収納容器において、前記収納容器が、前記ウエハ収納空間内の雰囲気ガスを不活性ガスに置換する機能を持っていることを特徴とする鏡面ウエハ運搬用収納容器。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, B65D 85/38
