特許
J-GLOBAL ID：200903056534093153
透過型表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西野 卓嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-076972
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289424
出願日： 1993年04月02日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【目的】 安価なガラス基板上に高速な単結晶シリコン製のMOS-FETマトリクスを形成するアクティブマトリクス型液晶表示装置を製造する。【構成】 表面にFETマトリクスとリセスが形成されたシリコン基板を、ガラス基板に接着し、その後、シリコンウェハをラッピングにより薄板化し、かつリセス部を光が通過できる開口部にし、露出した開口部の側面の金属膜に画素電極を電気的に接続する一方、シリコンウェハの裏面に金属製の補助容量電極を形成して液晶表示装置のアクティブマトリクス基板とする。
請求項（抜粋）：
表面にあらかじめFETマトリクスが形成され、且つ画素電極に対応する部分にリセスを有するc-Si基板を用いた、透過型表示装置において、FETのソースが画素電極部に対応するc-Si側面部の金属膜で画素電極に接続されていることを特徴とする透過型表示装置。
IPC (5件)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/163
, H01L 27/12
, H01L 21/336
, H01L 29/784
