特許

J-GLOBAL ID：200903056535260568

基板搬送装置

発明者： 上山 勉
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-260305
公開番号（公開出願番号）：特開平8-118279
出願日： 1994年10月25日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：

【要約】【目的】 複数の基板処理部の間で基板を搬送する基板搬送装置において、ハンドと基板とが相対的にスライドさせられてもそれによって基板の下面が傷つかないようにする。【構成】 基板搬送ロボットは、複数の処理部の間で基板Wを搬送する装置において、基板Wを支持するためのハンド43と、搬送されるべき基板Wの下方にハンド43を移動させるX,Y,Z軸移動機構と、ハンド43上面から上方に突出し、その頂部において基板Wを下方から支持する基板支持ピン60と、ハンド43に対する基板Wの水平方向の相対的な移動に追随するように、基板支持ピン60をハンド43に対して保持するピン保持部62とを備えている。ピン保持部62は、1対の磁石65,66によってハンド43に弾性的に支持されている。

請求項（抜粋）：

複数の基板処理部の間で基板を搬送する基板搬送装置において、基板を支持するためのハンドと、搬送されるべき前記基板の下方に前記ハンドを移動させる移動手段と、前記ハンド上面から上方に突出し、その頂部において前記基板を下方から支持する基板支持ピンと、前記ハンドに対する前記基板の水平方向の相対的な移動に追随するように、前記基板支持ピンをハンドに対して保持するピン保持手段と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。