特許

J-GLOBAL ID：200903056539727282

IC外観検査方法

発明者： 鈴木 徹
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-067472
公開番号（公開出願番号）：特開平5-272931
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】ICリードの外観検査方法において、ICリードの様々な変形に対応してその変形量を認識し、また、リード幅及び間隔が極く微少なICについても、高速でそのICリードの様々な変形量を認識して、使用に耐えないICのみを識別できるようにする。【構成】被検査ICの複数本のICリードからなる多値画像に基づいて被検査ICの位置及び方向を認識する。位置及び方向を認識した被検査ICのICリードの設計上の存在位置に基づいて設定した微小領域内の多値画像データから各ICリードの実際の存在位置を求め、その位置を含む微小領域内の多値画像データから各ICリードの実際の先端近傍位置を求める。そして、その先端近傍位置を基準として同一ICリード上の異なる複数箇所に設定した領域内の多値画像データからICリードの曲がり方向と量とを算出し、その結果とICリードの変形許容値とを比較することにより、良品ICと不良品ICとを識別するようにした。

請求項（抜粋）：

IC移動用マニプレータ等によって、検査ステージ上にほぼ一定の位置及び方向でICを置き、当該被検査ICを画像記録手段にて撮像した画像を処理してICリードの形状を検査するIC外観検査方法において、被検査ICの複数本のICリードからなる多値画像に基づいて被検査ICの位置及び方向を認識し、当該被検査ICのICリードの設計上の存在位置に基づいて設定した微小領域内の多値画像データから各ICリードの実際の存在位置を求め、その位置を含む微小領域内の多値画像データから各ICリードの実際の先端近傍位置を求め、その先端近傍位置を基準として同一ICリード上の異なる複数箇所に設定した領域内の多値画像データを入力し、当該多値画像データからICリードの曲がり方向と量とを算出し、当該算出結果とICリードの変形許容値とを比較することにより、良品ICと不良品ICとを識別することを特徴とするIC外観検査方法。

IPC (5件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  H01L 21/66 ,  H01L 23/50