特許

J-GLOBAL ID：200903056542472961

加工装置

発明者： 関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 松本 昂 ,  伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-229264
公開番号（公開出願番号）：特開2009-064828
出願日： 2007年09月04日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：

【課題】 モニタ上に表示された画像に不具合を発見した際にその領域を明確に認識することができ、原因究明等を迅速に且つ適正に行うことである。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、被加工物を撮像する撮像手段と、該撮像手段で撮像した画像を表示する表示手段とを備えた加工装置であって、前記撮像手段は、前記チャックテーブルに保持された被加工物の全体を撮像する全体撮像部と、被加工物の細部を撮像する細部撮像部と、前記全体撮像部で撮像した被加工物の全体画像と前記細部撮像部で撮像した細部画像を前記表示手段上に合成して表示するとともに、被加工物の全体画像に細部画像の位置を表示する画像合成部と、を具備したことを特徴とする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、被加工物を撮像する撮像手段と、該撮像手段で撮像した画像を表示する表示手段とを備えた加工装置であって、 前記撮像手段は、 前記チャックテーブルに保持された被加工物の全体を撮像する全体撮像部と、 被加工物の細部を撮像する細部撮像部と、 前記全体撮像部で撮像した被加工物の全体画像と前記細部撮像部で撮像した細部画像を前記表示手段上に合成して表示するとともに、被加工物の全体画像に細部画像の位置を表示する画像合成部と、 を具備したことを特徴とする加工装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  B23Q 17/20

FI (2件)：

H01L21/66 J ,  B23Q17/20 Z

Fターム (8件)：

3C029BB10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106BA11 ,  4M106CA38 ,  4M106CA46 ,  4M106DB04 ,  4M106DJ17

引用特許：

出願人引用 (2件)

• アライメント装置及び加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-404310   出願人：株式会社ディスコ
• 特許第2628256号公報
  

審査官引用 (3件)

• アライメント装置及び加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-404310   出願人：株式会社ディスコ
• 薄膜デバイスの表面画像の検出・出力方法及びその装置並びにそれを用いた薄膜デバイスの製造方法及びその製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-292011   出願人：株式会社日立製作所
• 欠陥画像収集方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-066546   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ