水中の有機物除去装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：畑中芳実 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-047617
公開番号（公開出願番号）：特開平10-244280
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】半導体製造工場で排出される高濃度有機系廃液(例えばフォトリソグラフィー工程で排出される現像廃液)のような高濃度の有機物を含む水から有機物を効率的にかつ安定して除去することができ、しかも処理コストを低減できる有機物除去装置を提供する。【解決手段】被処理水にアルカリ性条件下でオゾンを添加することにより被処理水中に含まれる有機物を酸化分解する有機物酸化装置2と、OH形の強塩基性陰イオン交換樹脂を用いた陰イオン交換装置6と、逆浸透膜装置8とを、被処理水をこの順序で通水するように設置する。さらに、逆浸透膜装置8の濃縮水を濃縮水返送管12を通して有機物酸化装置2の被処理水中に導入する。また、上記構成に代え、逆浸透膜装置8の濃縮水を上記と同じ陰イオン交換装置6に通水してから有機物酸化装置2の被処理水中に導入してもよい。

請求項（抜粋）：

被処理水にアルカリ性条件下でオゾンを添加することにより該被処理水中に含まれる有機物を酸化分解する有機物酸化装置と、OH形の強塩基性陰イオン交換樹脂を用いた陰イオン交換装置と、逆浸透膜装置とを、被処理水をこの順序で通水するように設置するとともに、逆浸透膜装置の濃縮水を有機物酸化装置の被処理水中に導入することを特徴とする水中の有機物除去装置。

IPC (9件)：

C02F 1/78 ZAB , B01D 61/02 500 , B01D 61/04 , B01F 3/04 , B01J 41/04 , C02F 1/42 , C02F 1/44 , C02F 9/00 502 , C02F 9/00

FI (10件)：

C02F 1/78 ZAB , B01D 61/02 500 , B01D 61/04 , B01F 3/04 Z , B01J 41/04 G , C02F 1/42 D , C02F 1/44 F , C02F 9/00 502 F , C02F 9/00 502 K , C02F 9/00 502 R

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-212385
特開昭56-017687
特開昭50-094757

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