ガス検知素子及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高石橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-212139
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034591
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：

【要約】【目的】素子抵抗の安定性が良好で、素子の製造を自動化するのが容易な構造を有するガス検知素子を提供する。【構成】電気絶縁性の高い基板の一方の面に、基板の周縁部に所定のパターンのヒータと、このヒータパターンの内側に一対の対向電極とを形成し、続いてヒータを被覆する形状の電気絶縁性薄膜を形成した後、一対の対向電極の少なくとも一部分を覆うとともに電極間に延在してガス感応膜を形成してなるガス検知素子。

請求項（抜粋）：

電気絶縁性の高い基板と、前記基板の一方の面の周縁部に所定のパターンに形成されたヒータと、前記ヒータに接続するリード線と、前記ヒータを被覆する形状に形成された金属酸化物からなる電気絶縁性薄膜と、前記ヒータの形成パターンの内側に形成された一対の対向電極と、前記一対の電極に接続するリード線と、前記一対の電極の少なくとも一部分を覆うとともに前記電極間に延在するガス感応膜とを有することを特徴とするガス検知素子。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭54-080799
特開昭54-080799

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