特許

J-GLOBAL ID：200903056559228436

流体の被除去物除去方法

発明者： 対比地 元幸 ,  飯沼 宏文
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 須藤 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353822
公開番号（公開出願番号）：特開2001-038152
出願日： 1999年12月14日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】【課題】 従来、ダイシング、CMP等の機械的加工により発生する研磨屑、研削屑が混入された排水は、凝集沈殿法またはフィルタ濾過と遠心分離を組み合わせた二通りで処理されていた。しかし前者では、濾過水に薬品が混入し、濾過水の再利用が行えず、また後者は、システムとして大きくなり、イニシャルコスト、ランニングコストが高い問題を有していた。【解決手段】 第1のフィルタ10にトラップされた固形物16を第2のフィルタ13として活用し、第1のフィルタ10への目詰まりを防止すると共に、第2のフィルタ膜13には、気泡等により外力が与えられ、濾過能力を維持している。また濾過流体に被除去物14が混入されている場合は、濾過流体を再度排水が貯められている槽に循環させ、所望の混入率に成るのを確認した後、再度濾過を開始する。

請求項（抜粋）：

流体に含まれる被除去物と異なる固形物を含むフィルタで流体中の被除去物を除去することを特徴とした流体の被除去物除去方法。

IPC (8件)：

B01D 61/14 500 ,  B01D 65/02 500 ,  B01D 65/02 520 ,  B01D 71/02 ,  B01D 71/26 ,  B24B 55/12 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 631

FI (8件)：

B01D 61/14 500 ,  B01D 65/02 500 ,  B01D 65/02 520 ,  B01D 71/02 ,  B01D 71/26 ,  B24B 55/12 ,  H01L 21/304 622 E ,  H01L 21/304 631

Fターム (26件)：

3C047FF08 ,  3C047FF09 ,  3C047GG13 ,  3C047GG17 ,  4D006GA03 ,  4D006GA06 ,  4D006HA41 ,  4D006JA31A ,  4D006JA35A ,  4D006KA02 ,  4D006KA43 ,  4D006KA72 ,  4D006KB04 ,  4D006KB14 ,  4D006KB20 ,  4D006KC14 ,  4D006KC19 ,  4D006KE13P ,  4D006KE13Q ,  4D006KE15Q ,  4D006MA03 ,  4D006MA06 ,  4D006MC22 ,  4D006PB08 ,  4D006PB70 ,  4D006PC01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 活性汚泥濾過装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-177201   出願人：大同均, 麻生栄治, 栗田工業株式会社, 新日本製鐵株式会社, 日立金属株式会社