特許
J-GLOBAL ID：200903056565345681
変位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143223
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337309
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 真空中のレーザ干渉計方式の変位測定システムと同等の精度で、大気中で長いストロークの測定範囲の変位測定が可能な変位測定装置を提供する。【解決手段】 本体容器12には第一,第二空間12a,12bが形成され、一端に反射ミラー34を有する端面板18で封止した中空パイプ14が開口部16a,16bを介して進退自在に配置される。第一,第二空間12a,12bには真空ポンプ36,38が接続され、実質的真空状態が維持される。レーザ光源20からの光は半透過ミラー40により、一部は参照用ミラー33で反射し、一部は反射ミラー34で反射し、それぞれ半透過ミラー40に戻る。半透過ミラー40に戻った光は互いに干渉し干渉縞を形成し、干渉計42で計測可能となる。この時、中空パイプ14の進退量、つまり大気中で移動する端面板18の変位量に応じて干渉縞の縞数が変化する。この縞数の変化により大気中の変位量を認識する。
請求項（抜粋）：
光源と、当該光源からの光線を反射する反射手段と、光源からの光線と反射手段で反射した反射光線により発生する干渉縞の数を測定する干渉計とを含み、測定された干渉縞に基づいて反射手段の反射光線軸方向の変位量を測定する変位測定装置において、少なくとも前記光源と干渉計を固定可能で、光源の光路上に開口部を有する本体容器と、前記開口部の内径より僅かに細い外径を有し前記内径に接触することなく本体容器に対して進退自在なパイプであって、前記本体容器内部側のみに開放端を有し本体容器外部側に前記反射手段を有する中空パイプと、前記本体容器及び中空パイプ内の気体の排気速度を前記開口部と中空パイプとの隙間からの気体流入速度より早くして本体容器及び中空パイプ内を実質的真空状態にする排気手段と、前記本体容器及び中空パイプの実質的真空状態を維持したままで前記中空パイプを本体容器に対して進退させて前記反射手段の位置を変位させる駆動手段と、を含むことを特徴とする変位測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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