特許

J-GLOBAL ID：200903056578937596

軟X線平行光束形成装置

発明者： 神高 典明 ,  近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-265889
公開番号（公開出願番号）：特開2000-098100
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 発生する軟X線が軸対称な強度分布を有し、かつ発生光量の大きい軟X線平行光束形成装置を提供する。【解決手段】 真空容器中に設けられたノズル1から標的物質である水滴2が射出されている。射出された水滴2に、パルスレーザー光3が集光・照射され、これによりプラズマ5が形成される。プラズマ5から発生した軟X線は、プラズマ5の生成位置を焦点とする多層膜回転放物面鏡6によって反射され、平行光束7に変換される。多層膜回転放物面鏡6の中央部には穴が形成されており、パルスレーザー光3の照射はこの穴を通じて行われる。プラズマ5から発する軟X線の強度分布は照射したパルスレーザー光3の光軸に対してほぼ対称となり、この光軸は多層膜回転放物面鏡6の対称軸と一致しているので、多層膜回転放物面鏡6で反射した後に形成される平行光束7も、ほぼ軸対称の強度分布を持つ。

請求項（抜粋）：

排気装置により減圧が可能な容器内において、液滴状あるいは微粒子状の標的材を供給する標的材供給手段と、当該標的材に励起エネルギービームを集光・照射してプラズマ化する励起エネルギー照射手段と、プラズマから発生した軟X線を略平行光束として取り出すための軟X線光学素子を有する軟X線平行光束形成装置であって、プラズマから放射された軟X線が最初に入射する光学素子(第1光学素子)の反射面が略軸対称な形状を有し、励起エネルギービームの照射は、第1光学素子の対称軸を光軸として第1光学素子側から行われ、前記標的材供給手段は、利用する軟X線の光路を遮らない位置に配置されていることを特徴とする軟X線平行光束形成装置。

IPC (4件)：

G21K 5/02 ,  G21K 1/06 ,  H01L 21/027 ,  H05G 2/00

FI (4件)：

G21K 5/02 X ,  G21K 1/06 B ,  H01L 21/30 531 A ,  H05G 1/00 K

Fターム (9件)：

4C092AA04 ,  4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB22 ,  4C092AC09 ,  4C092BD11 ,  5F046DA01 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03