特許
J-GLOBAL ID：200903056579804182
複合顕微鏡の導電性カンチレバーとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-298999
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136555
出願日： 1994年11月07日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡と静電容量顕微鏡を合体した顕微鏡を作ろうとすると、センサ部分に導電性のカンチレバ-を必要とする。カンチレバ-の先端下部に探針を設け、探針と試料との間の静電容量を検出する。しかしカンチレバ-の下面の全体を金属にすると、カンチレバーと試料の間の接触圧の変化によって、カンチレバーの電極面積が変動する。試料とカンチレバーの間の静電容量を測定しても、試料表面の電荷、空乏層の状態が分からない。カンチレバーの電極としての面積を一義的に決定することが本発明の目的である。【構成】 絶縁膜の上に金属膜を形成し、金属膜をフォトリソグラフィによって一定の深さになるようにエッチングし、先端部の狭い部分だけを突起として残す。突起以外の金属部分は、さらに絶縁膜によって覆う。探針を持つカンチレバーの場合は、探針の下端を平坦にし、探針の高さを500nm以上にする。試料とカンチレバーの接触圧が変動しても、カンチレバーの電極面積は変わらない。
請求項（抜粋）：
少なくとも走査型静電容量顕微鏡と原子間力顕微鏡の機能を合体した複合顕微鏡のカンチレバ-であって、先端部と後端部とをつなぐ金属層が存在し、試料に対向する先端の一部分のみ下面に金属部分が露出しており、他の部分は下面が絶縁体によって覆われている事を特徴とする複合顕微鏡の導電性カンチレバ-。
IPC (6件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 11/30 102
, G01B 21/30
, H01J 37/28
, H01L 21/66
