薄膜トランジスタ駆動液晶表示装置およびその製法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-114935
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321328
出願日： 1994年05月27日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】薄膜トランジスタ駆動の液晶表示装置の配線の歩留り、表示品質が向上。【構成】透明ガラス基板上に形成された走査信号線、映像信号線およびゲート電極1、ゲート絶縁膜2、非晶質半導体層3、ソース電極4、ドレイン電極5で構成された薄膜トランジスタおよび保持容量素子、透明画素電極8からなる画素構造の液晶表示装置であって、前記ゲート電極1、該ゲート電極1上のゲート絶縁膜2bが、柱状結晶構造の金属材料で構成され、それが45度以下の順テーパ形状を有している。

請求項（抜粋）：

透明ガラス基板上に形成された走査信号線と、走査信号線から延びてなる端子取出し電極と、前記走査信号線に直交し絶縁されて形成された映像信号線と、前記走査信号線から分岐してなるゲート電極、前記ゲート電極上に絶縁膜を介して順次形成された半導体層および対となるソース電極とドレイン電極を有し、前記ドレイン電極が前記映像信号線に接続された薄膜トランジスタと、前記絶縁層上に形成された前記ソース電極と接続された画素電極を備えた薄膜トランジスタ駆動液晶表示装置において、前記走査信号線および前記走査信号線から分岐し前記薄膜トランジスタを構成するゲート電極は、柱状結晶を有する金属材料からなり、前記金属材料はこれに連続して形成された自己整合酸化膜を有することを特徴とする薄膜トランジスタ駆動液晶表示装置。

IPC (4件)：

H01L 29/786 , G02F 1/136 500 , H01L 29/40 , H01L 29/43

FI (2件)：

H01L 29/78 311 G , H01L 29/46 R

前のページに戻る