特許

J-GLOBAL ID：200903056580842055

光記録媒体の製造装置

発明者： 楠原 章男 ,  杉山 征人
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-222438
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047052
出願日： 1991年08月08日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】 合成樹脂基板を用いた光記録媒体の高生産性、高品質の製造装置を提供する。【構成】 基板のガス出し処理をするガス出し処理装置と、基板を複数個装着した基板ホルダーを受入れ、所定の光記録膜を形成するインライン式薄膜形成装置とを備え、該薄膜形成装置のアンロード室からロード室へ基板ホルダーを回送するその雰囲気が所定湿度以下に維持されたホルダー搬送路を設けると共に、ガス出し処理装置から薄膜形成装置のホルダー搬送路の所定箇所へ該基板を搬送するその雰囲気が所定湿度以下に維持された基板搬送路を設けたことを特徴とする光記録媒体の製造装置。

請求項（抜粋）：

合成樹脂の基板を用いた光記録媒体の製造装置において、該基板のガス出し処理をするガス出し処理装置と、間欠的に該基板を複数個装着した基板ホルダーをロード室に受け入れ、次いで膜形成室に移送して所定の光記録膜を形成し、アンロード室を介して大気下に取り出すようにしたインライン式薄膜形成装置とを備え、該薄膜形成装置のアンロード室からロード室へ基板ホルダーを回送するその雰囲気が所定湿度以下に維持されたホルダー搬送路を設けると共に、ガス出し処理装置から薄膜形成装置のホルダー搬送路の所定箇所へ該基板を搬送するその雰囲気が所定湿度以下に維持された基板搬送路を設けたことを特徴とする光記録媒体の製造装置。

IPC (2件)：

G11B 7/26 531 ,  G11B 11/10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-230977
  
• 特開平2-232362
  
• 特開昭63-080409