特許
J-GLOBAL ID:200903056581580968
光カチオン硬化型エポキシ樹脂組成物の現像方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-119982
公開番号(公開出願番号):特開2007-292964
出願日: 2006年04月25日
公開日(公表日): 2007年11月08日
要約:
【課題】引火するおそれや人体に悪影響及ぼす危険性の高い液体を使用せずに現像することができる光カチオン硬化型エポキシ樹脂組成物の現像方法を提供する。【解決手段】光照射により発生するカチオンでエポキシ基の反応を開始させて硬化する光硬化型エポキシ樹脂組成物層の一部分を、光照射により硬化反応を開始させた後、未硬化部分を除去して硬化部分を残す現像処理において、現像液としてジエチレングリコールモノアルキルエーテル誘導体と水を含む液体を使用することで、引火や人体に悪影響を及ぼす危険性をなくした。【選択図】なし
請求項(抜粋):
光カチオン硬化型エポキシ樹脂組成物層の一部分を、光照射により硬化反応を開始させた後、未硬化部分を除去して硬化部分を残す現像方法において、現像液としてジエチレングリコールモノアルキルエーテル誘導体と水を含む液体を使用して現像することを特徴とする光カチオン硬化型エポキシ樹脂組成物の現像方法。
IPC (3件):
G03F 7/32
, G03F 7/038
, G02B 6/13
FI (3件):
G03F7/32
, G03F7/038 503
, G02B6/12 M
Fターム (25件):
2H025AA04
, 2H025AB14
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BD03
, 2H025BD23
, 2H025BD53
, 2H025CA48
, 2H025FA12
, 2H025FA16
, 2H025FA17
, 2H096AA27
, 2H096AA28
, 2H096BA06
, 2H096EA02
, 2H096GA03
, 2H096GA08
, 2H096GA17
, 2H096GA22
, 2H147EA20
, 2H147FA17
, 2H147FC04
, 2H147FF06
, 2H147GA00
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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