特許
J-GLOBAL ID:200903056582677310
積層圧電素子及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
井内 龍二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-102986
公開番号(公開出願番号):特開平10-294500
出願日: 1997年04月21日
公開日(公表日): 1998年11月04日
要約:
【要約】【課題】 電極層に対して垂直にスリットを形成する構造では、機械加工を施さなければならず、スリットのピッチを小さくすることが困難で、また加工コストが高くつくといった課題があった。【解決手段】 内部電極12a、12bに平行にスリット13を形成し、内部電極12a、12bと平行な方向の変位を利用する積層圧電素子とする。
請求項(抜粋):
複数の圧電セラミックス層と電極層が交互に積層され、前記電極層と平行な方向の変位を利用する積層圧電素子において、積層された前記電極層間に前記電極層に平行にスリットが形成されていることを特徴とする積層圧電素子。
IPC (5件):
H01L 41/09
, H01L 41/22
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
FI (4件):
H01L 41/08 C
, H01L 41/22 Z
, B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
引用特許:
前のページに戻る