特許
J-GLOBAL ID:200903056586794087

屈折率分布の測定方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-216968
公開番号(公開出願番号):特開平11-044641
出願日: 1997年07月29日
公開日(公表日): 1999年02月16日
要約:
【要約】【課題】 GRINレンズを含む被検物の屈折率分布をレンズの形状に拘らず、非破壊で測定できる方法及び装置を提供する。【解決手段】 光源1からの可干渉光を、屈折率がほぼ一致している試液B中に浸した被検物Aに透過させ、参照光と重畳して干渉縞検出器15上に干渉縞像を結像させ、該干渉縞像から透過波面W(x)を求める。、一方、被検物の設計値から基準透過波面Wo(x)を算出する。また、同じく、被検物の設計値から被検物の光軸方向の厚さd(x)を求め、可干渉光の波長をλとしたとき、任意の断面における屈折率差Δn(x)を次式ΔW(x)=W(x)-Wo(x)Δn(x)=ΔW(x)・λ/d(x)から求める。
請求項(抜粋):
光源からの可干渉光を、基準になる参照波と、屈折率がほぼ一致している試液中に浸した被検物に透過させた被検波とに分け、これら2光束を重畳して干渉縞検出器上に干渉縞像を結像させ、該干渉縞像から透過波面を求め、基準となる透過波面及び被検物の設計値から求めた光軸方向の厚さから上記被検物の任意の測定断面についての屈折率差を求めることを特徴とする屈折率分布の測定方法。
IPC (2件):
G01N 21/45 ,  G01M 11/02
FI (2件):
G01N 21/45 A ,  G01M 11/02 B
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平1-316627

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