特許

J-GLOBAL ID：200903056587789346

基板位置認識装置および基板位置認識方法

発明者： 小山 康文
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310970
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148414
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】 簡単な演算をするだけでウェハの中心の位置を素早く且つ正確に求め。【解決手段】 スピンチャック12を回転させつつ、載置したウェハ11の端縁位置を光センサ16で極座標系データとして検出する。これをXY座標系データに変換し、各XY座標値をそれぞれ平均化し、その平均値を2倍した位置をウェハ11の中心座標として認識して偏心量を素早く求める。複雑な回帰曲線を求めずにウェハの中心の位置を短時間で正確に求め得る。

請求項（抜粋）：

基板を回転可能に保持する保持手段と、前記保持手段を回転駆動する回転駆動手段と、前記保持手段により保持された基板の端縁位置を検出する位置検出手段と、前記回転駆動手段を制御するとともに前記位置検出手段の検出結果に基づいて前記基板の中心位置を算出する制御演算手段と、を備え、前記制御演算手段は、前記保持手段を回転させるよう前記回転駆動手段に指示する回転指示手段と、360 ゚を3以上の自然数Nで除算した商を単位回転角度として、前記保持手段の全周にわたり、前記単位回転角度ずつ位相がずれた状態での前記基板の端縁位置を示すN個のデータよりなる第1のデータ群を、前記位置検出手段により読み込む読込手段と、読み込んだ前記N個のデータに平均演算を施して前記基板の中心の座標を演算する演算手段と、を備えたことを特徴とする基板位置認識装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 17/24 ,  G01B 11/00 ,  G01B 21/00 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

H01L 21/68 F ,  B23Q 17/24 C ,  G01B 11/00 C ,  G01B 21/00 F ,  G01B 21/00 A ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/30 577