特許
J-GLOBAL ID：200903056596538755
軸受型ターボ分子ポンプの駆動方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-299970
公開番号（公開出願番号）：特開平8-159083
出願日： 1994年12月02日
公開日（公表日）： 1996年06月18日
要約：
【要約】【構成】 複数の軸受型ターボ分子ポンプ(以下、TMP)5a・5b・5cを、配線切換器6を介して1台のTMPコントローラ7に接続し、各TMPの使用条件に応じて定められた時間毎に、駆動対象のTMPを順次切り換えてTMPコントローラ7より各TMPへ電力を供給することにより、1台のTMPコントローラ7にて複数台のTMPを時分割駆動する。【効果】 真空排気能力を維持するために全てのTMPに対して常時電力を供給する必要がなくなり、消費電力の低減が可能となる。1台のTMPコントローラ7で複数のTMPを駆動できるので、TMPコントローラ7の台数削減が図れ、省スペース化およびコストダウンが可能となる。
請求項（抜粋）：
軸受型ターボ分子ポンプに電力を供給して該軸受型ターボ分子ポンプを駆動する駆動部にて、複数台の軸受型ターボ分子ポンプを駆動する方法であって、各軸受型ターボ分子ポンプの使用条件に応じて定められた時間毎に、駆動対象の軸受型ターボ分子ポンプを順次切り換えて駆動部より各軸受型ターボ分子ポンプへ電力を供給することにより、1つの駆動部にて複数台の軸受型ターボ分子ポンプを時分割駆動することを特徴とする軸受型ターボ分子ポンプの駆動方法。
IPC (2件)：
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