特許

J-GLOBAL ID：200903056605914463

多角形サセプタ型気相成長装置

発明者： 香村 幸夫 ,  高橋 道生 ,  豊崎 孝一
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328077
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183221
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】 ウエハ上の膜厚のばらつきを低下させることができる多角形サセプタ型気相成長装置を提供する。【構成】 リアクタ1内に多角形サセプタ2を公転しないように設ける。リアクタ1の一端側には多角形サセプタ2の各平面部2aに原料ガスを供給する原料ガス供給口を設ける。多角形サセプタ2の各平面部2aには、ウエハ3を支持する自転トレー4を多角形サセプタ2に対して自転自在に支持させる。自転トレー4にはこれを自転させるトレー自転駆動機構30を連結する。リアクタ1内には多角形サセプタ2の各平面部2aに対向する平面部37aをもつ多角形インナーチューブ37を配置する。

請求項（抜粋）：

リアクタ内に多角形サセプタが公転しないように設けられ、前記リアクタの一端側には前記多角形サセプタの各平面部に原料ガスを供給する原料ガス供給口が設けられ、前記多角形サセプタの各平面部にはウエハを支持する自転トレーが該多角形サセプタに対して自転自在に支持され、前記自転トレーにはこれを自転させるトレー自転駆動機構が連結され、前記リアクタ内には前記多角形サセプタの各平面部に対向する平面部をもつ多角形インナーチューブが配置されていることを特徴とする多角形サセプタ型気相成長装置。