特許

J-GLOBAL ID：200903056611857374

高真空電子線装置及びその排気方法

発明者： 三田村 茂宏
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 喜多 俊文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-116247
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313270
出願日： 2001年04月16日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】 電子銃が設けられたチャンバにイオンポンプが取付けられ、ベーキング装置を設け、排気能力を最大限にするようにした高真空電子線装置を提供する。【解決手段】 ベーキング用電源6aからベーキング装置6に加熱電流が流され、チャンバ2及びイオンポンプ5を加熱すると同時に、バルブ12及びバルブ11を開き、その排気通路からチャンバ1を介して油拡散ポンプ4で真空排気する。ある程度水分や残留ガスが放出され、チャンバ2が中真空になったベーキング後期でイオンポンプ5を動作させ、発生したガスを排気通路から排気する。そして、ベーキングを終了しクーリングを開始した3〜10分後にバルブ11を閉じる。上記の操作をシーケンスプログラムによって行い、イオンポンプ5にかかる負荷を軽減し、能力を最大限に引き出す。

請求項（抜粋）：

電子銃を内部に含むとともに内部を高真空に排気するためのイオンポンプが接続され外部をベーキング装置で囲まれた第1のチャンバと、前記電子銃で発生された電子ビームを導入する第2のチャンバと、前記第1のチャンバ内を前記イオンポンプによる排気に先立って中真空に排気するための排気通路を有する高真空電子線装置において、前記第1のチャンバをベーキングする際に、前記排気通路を介して前記第1のチャンバを中真空まで排気した後に前記ベーキング装置を起動し、ベーキング終了予定時刻から所定時間だけ手前の時刻に前記イオンポンプを起動し、その後ベーキング終了予定時刻においてベーキングを停止するよう制御する制御装置を備えたことを特徴とする高真空電子線装置。

IPC (4件)：

H01J 37/18 ,  B01J 19/12 ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01J 37/18 ,  B01J 19/12 C ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/30 541 G

Fターム (13件)：

4G075AA30 ,  4G075AA57 ,  4G075BB10 ,  4G075BD03 ,  4G075CA39 ,  4G075CA65 ,  4G075DA01 ,  4G075EB01 ,  4G075EB31 ,  5C033KK01 ,  5C033KK02 ,  5C033KK04 ,  5F056EA16

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-133253
  
• 特開平4-133253