特許
J-GLOBAL ID：200903056615093670
マイクロデバイス用3次元構造物及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武井 秀彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-084856
公開番号（公開出願番号）：特開2005-271097
出願日： 2004年03月23日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 メゾスケールの新規かつ優れた伝熱性及び伝導性を有するマイクロデバイス用3次元構造物及びその実効ある具体的な製造方法、これによる電子素子用又はIC用冷却フィンを提供する。【解決手段】 過飽和固溶体を二相共存領域で時効したときに、スピノーダル分解により、γ相とγ’相とに二相分離させることの可能なNi基合金単結晶を、二相共存領域で時効し、濃度変動を誘起させて変調構造を形成させるため、同温度に保持することにより,または同温度よりも更に低温で保持することにより、上記過程で自己組織化によって規則的に配列した立方体状のγ’相を形成させ、かつ該γ’相の方形組織により区分されたγ相を形成させ、次に、該Ni基合金単結晶を適切な組成の化学エッチング液で処理することにより、γ’相だけを選択的に溶解除去し、不溶性のγ相によって構成されたメゾスケールの骨格構造を残す。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
過飽和固溶体を二相共存領域で時効したときに、スピノーダル分解により、γ相(Ni固溶体)とγ’相(主にNimXnなる金属間化合物;ここで、Xは他の第三元素を少量添加することにより良好な二相分離組織を形成する合金元素、IIb族元素のZn,Cd、IIIb族元素のAl,Ga,In,Tl、IVb族元素のSn、Va族元素のV、又はVb族元素のAs,Sb,Bi)とに二相分離させることの可能なNi基合金単結晶を、二相共存領域で時効し、濃度変動を誘起させて変調構造を形成させるため、同温度に保持することにより,または同温度よりも更に低温で保持することにより、上記過程で自己組織化によって規則的に配列した立方体状のγ’相を形成させ、かつ該γ’相の方形組織により区分されたγ相を形成させ、次に、該Ni基合金単結晶を適切な組成の化学エッチング液で処理することにより、γ’相だけを選択的に溶解除去し、不溶性のγ相によって構成されたメゾスケールの骨格構造を残す段階を含むことを特徴とし、かつNi基合金単結晶の表面方位を適切に選ぶことにより、該全面にわたり均一な骨格構造が得られることを特徴とするマイクロデバイス用3次元構造物の製造方法。
IPC (6件)：
B81C5/00
, B81B1/00
, C22C19/03
, C22F1/10
, F28F1/12
, H01L23/36
B81C5/00
, B81B1/00
, C22C19/03 Z
, C22F1/10 A
, F28F1/12 G
, H01L23/36 Z
5F036AA01
, 5F036BA04
, 5F036BB05
, 5F036BC05
, 5F036BD01
