特許

J-GLOBAL ID：200903056616972805

無気泡透明石英ガラスの製造方法

発明者： 津久間 孝次 ,  加茂 賢治 ,  橋本 眞吉
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-109044
公開番号（公開出願番号）：特開平9-295825
出願日： 1996年04月30日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、高純度シリカ微粉末の造粒顆粒を溶融してなる気泡の少ない石英ガラス、及びそれを熱間静水圧プレス処理により無気泡とした石英ガラスの製造方法を提供することにある。【解決手段】シリカ粉末を減圧雰囲気中でクリストバライト溶融温度1713°C以上に加熱して透明石英ガラスを得る方法において、非晶質シリカ微粉末を水溶媒に分散したスラリ-を噴霧乾燥により造粒した平均粒径40〜200μmの球状顆粒シリカ粉末を用い、これを1g/cm2以上の荷重を印加した状態でカ-ボン製容器に充填し、カサ密度0.4〜1.0g/cm3とし、10torr以下の減圧雰囲気下で溶融して1mm以上の気泡を消滅させた透明石英ガラスとし、熱間静水圧プレス装置を用い、1200〜1350°Cの温度範囲で100〜200MPaのAr又はN2ガス圧力を作用させ、ガラス中の1mm未満の気泡を消滅させる無気泡透明石英ガラスの製造方法。

請求項（抜粋）：

シリカ粉末を減圧雰囲気中でクリストバライト溶融温度1713°C以上に加熱して透明石英ガラスを得る方法において、非晶質シリカ微粉末を水溶媒に分散したスラリ-を噴霧乾燥により造粒した平均粒径40〜200μmの球状顆粒シリカ粉末を用い、これを1g/cm2以上の荷重を印加した状態でカ-ボン製容器に充填し、カサ密度0.4〜1.0g/cm3とし、10torr以下の減圧雰囲気下で溶融して1mm以上の気泡を消滅させた透明石英ガラスとし、熱間静水圧プレス装置を用い、1200〜1350°Cの温度範囲で100〜200MPaのAr又はN2ガス圧力を作用させ、ガラス中の1mm未満の気泡を消滅させる無気泡透明石英ガラスの製造方法。