特許

J-GLOBAL ID：200903056618481647

インクジェット液滴付与装置ならびにこれを用いた電子源基板および画像形成装置の製造方法

発明者： 宮本 雅彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042226
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213212
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】 特に大面積の表面伝導型電子放出素子を有する電子源基板の製造において、素子部の導電性薄膜をインクジェット液滴付与装置を用い、真空成膜法とフォトリソグラフィ・エッチング法によらずに、安定的に歩留まり良く形成することができるようにし、またそれによって電子源基板を有する画像形成装置を低価格で製造できるようにする。【解決手段】 インクジェット方式により被処理部材71の表面の所定位置に溶液を液滴の状態で少なくとも1滴付与する液滴吐出手段6と、所定位置と液滴吐出手段との相対位置を検出する位置検出手段16と、この検出結果に基づいて所定位置と液滴吐出手段とを位置合せするために被処理部材と液滴吐出手段との相対位置を補正する位置補正手段17とを具備する。

請求項（抜粋）：

インクジェット方式により被処理部材の表面の所定位置に溶液を液滴の状態で少なくとも1滴付与する液滴吐出手段と、前記所定位置と前記液滴吐出手段との相対位置を検出する位置検出手段と、この検出結果に基づいて前記所定位置と前記液滴吐出手段とを位置合せするために前記被処理部材と液滴吐出手段との相対位置を補正する位置補正手段とを具備することを特徴とするインクジェット液滴付与装置。

IPC (3件)：

H01J 9/02 ,  H01J 1/30 ,  H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 B ,  H01J 31/12 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-042226
  
• 特開昭64-005095
  
• 特開平1-261886