プローブの検査方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊丹勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373466
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183257
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】簡単且つ確実にプローブの破損検出を可能とした検査方法及び装置を提供する。【解決手段】発振器11とその出力により駆動されるアクチュエータ4により、プローブユニット2に保持されたカンチレバー1に振動を与える。加振周波数は、カンチレバー1の予測される固有振動数より低い状態から次第に上げるように、制御回路10により制御される。カンチレバー1の振動振幅は振動振幅検出器2により検出し、データラッチ回路8に転送保持する。加振周波数を上げて検出される振動振幅値を、比較器9によりメモリ8に保持された基準値と比較する。加振周波数がカンチレバー1の固有振動数を越えると、検出される振動振幅値が低下し、比較器9の出力が反転することから、1ステップ前の加振周波数を固有振動数として検出する。破損のないカンチレバーについて予め測定された固有振動数との偏位があるレベルを超えたときに、破損ありと判定する。

請求項（抜粋）：

プローブに加振周波数を順次変化させながら振動を与えるステップと、各加振周波数の振動が与えられたときの前記プローブの振動振幅を検出するステップと、検出される前記振動振幅と加振周波数の相関関係に基づいて前記プローブの固有振動数を検出するステップと、前記固有振動数の正規の値からの偏位によりプローブの破損を判定するステップとを有することを特徴とするプローブの検査方法。

Fターム (7件)：

2G024AA30 , 2G024BA21 , 2G024BA27 , 2G024CA02 , 2G024CA04 , 2G024CA13 , 2G024DA12

引用特許：

審査官引用 (4件)

カンチレバーの評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-298872 出願人：オリンパス光学工業株式会社
切削工具の折損防止装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-234660 出願人：三菱重工業株式会社
ボルト締付診断装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-181736 出願人：株式会社日本非破壊計測研究所, 財団法人鉄道総合技術研究所

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