特許
J-GLOBAL ID：200903056629012894
超微細パターン転写用Zr-Cu系金属ガラス合金製金型
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-333765
公開番号（公開出願番号）：特開2006-147727
出願日： 2004年11月17日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】従来よりもさらに超微細で高精度のパターンを有する耐久性、転写性等に優れ、複雑な金型形状も容易な金型の提供、例えば、次々世代光ディスクといわれる500GBの情報を記録できる光ディスクの製造を可能にする金型を提供する。【解決手段】集束イオンビームにより加工された状態で線幅又はドット径が20nm以下であるナノスケールのパターンが形成されたZr-Cu系金属ガラス合金からなることを特徴とする超微細パタンー転写用金型。高密度記録媒体製造用の原盤又はナノ・インプリント金型として用いて熱硬化性樹脂膜、結晶性金属膜、金属ガラス合金膜又は半導体膜など超微細パターンを高精細に転写できる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
集束イオンビームにより加工された状態で線幅又はドット径が20nm以下であるナノス
ケールの寸法のパターンが形成されたZr-Cu系金属ガラス合金からなることを特徴と
する超微細パタンー転写用金型。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B81C 5/00
, G11B 7/26
H01L21/30 502D
, B81C5/00
, G11B7/26 511
5D121AA02
, 5D121CA03
, 5D121CA05
, 5D121CA07
, 5D121CB03
, 5D121DD06
, 5D121DD11
, 5F046AA28
, 5F046BA10
, 5F046CA10
, 5F046CB27
出願人引用 (3件)
審査官引用 (7件)
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