特許
J-GLOBAL ID：200903056633359840
自動調節光学式集束システム付ツールヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 敏彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-236003
公開番号（公開出願番号）：特開平6-039573
出願日： 1992年09月03日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 レンズ取付け部を移動するだけで、被加工物表面に対する相対的位置を設定することが出来る光学式集束システムを具えた加工ヘッドの提供。【構成】 ツールヘッドハウジング1にはレンズホルダ3内に設けられ1つのレンズ、またはレンズシステムである光学式集束システム2が取り付けられている。レンズホルダは環状で外周の端が中空円筒状のワールヘッドハウジングの内壁部分に位置する。ガイドシリンダ4及び5は同心上で光学式集束システムを囲んでおり、外周面によって受取りシリンダ6及び7に摺動可能に保持される。レンズホールダは適当なシール手段を介して圧力室8及び9の圧力差により上下動し、焦点の調節を行う。パスピックアップセンサー19によって被加工物12までの距離が求められ、その信号は調節ユニット21に送られ圧力調整用の信号として圧力調整バルブ16に送られる。
請求項（抜粋）：
光学式集束システムを通過するレーザービームによって加工片の加工を行うツールヘッドであって、前記光学式集束システムは、前記ツールヘッド内に設けられ、レンズ取り付け部に装荷されており、前記レンズ取り付け部をレーザービーム方向に前記ツールヘッドに対し相対移動することによって位置決めされ、前記レンズ取り付け部は、自動調節手段によって移動することを特徴とするツールヘッド。
IPC (2件)：
引用特許：
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