特許

J-GLOBAL ID：200903056635246651

大気圧イオン化質量分析計

発明者： 入江 隆史 ,  三井 泰裕 ,  溝上 員章 ,  栗山 克己
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-099100
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310091
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】シラン系ガス等の、イオン源を汚染しやすいガスに関しても、長時間安定にかつ高感度に微量不純物の分析が可能な大気圧イオン化質量分析計を提供する。【構成】イオン発生部5と混合部10と試料導入部と質量分析部からなり、イオン発生部5で一次イオン発生用ガス1の放電により生成した一次イオンを、混合部10で試料ガス2と混合し、イオン-分子反応によって試料ガス2に含まれる目的物質をイオン化する。混合部10で生成したイオンを第1電極9と第2電極10で形成した電界で細孔19に輸送する。細孔19を通過して質量分析部に導入されたイオンは質量分離されて検出される。【効果】固体シリコンの堆積によるイオン源内汚染が低減できるため、安定に長時間のイオン化が可能になり、かつ、観測イオン量が増大できるので、高感度分析が可能になる。

請求項（抜粋）：

質量分析部とイオン源とから成り、前記質量分析部は真空に排気された領域で、細孔と質量分析手段を有し、イオン源は、開口を有する電極で2室に仕切られており、第1室は第1のガスの導入口と該第1のガスのイオンを生成するイオン化手段をもち、第2室は、微量の分析目的物質を含む第2のガスの導入口を有し、前記第2室において前記開口から供給される前記第1のガスのイオンと前記第2のガスとを混合することにより、イオン-分子反応による二次イオン化を行わせ、生成したイオンを前記電極によって形成される電界で前記細孔に移動させ、前記細孔を通ったイオンが質量分析部の質量分析手段で分離されて検出されることを特徴とする、大気圧イオン化質量分析計。

IPC (3件)：

H01J 49/10 ,  H01J 49/04 ,  G01N 27/62

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-241634
  
• 特開昭59-035347