特許
J-GLOBAL ID:200903056643062969

共焦点走査顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 純之助 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-097671
公開番号(公開出願番号):特開平5-297279
出願日: 1992年04月17日
公開日(公表日): 1993年11月12日
要約:
【要約】【目的】ピンホールの精密な位置合わせを必要としない共焦点走査顕微鏡を得ることを目的とする。【構成】共焦点走査顕微鏡のピンホールと光源の役割をするために設けたテーパ状光ガイド70の出射光を集光照射し、観察物体30の反射光を上記光ガイド70の出射開口72に集光して、光検出器50で検出し表示装置60に画像を表示する。
請求項(抜粋):
光源と、テーパ状光ガイドと、上記光源からの光を上記テーパ状光ガイドに入射させる光学系と、上記光ガイドの出射光を集光する光学系と、該光学系の焦点位置に配置した観察物体と、該観察物体あるいは集光された光の焦点を走査する走査機構と、上記観察物体からの散乱光あるいは反射光や蛍光やラマン光等の応答光を上記同一光ガイドの出射開口端面に集光する光学系と、光検出器と、上記光ガイドを通過した応答光の一部あるいは全部を上記光検出器に導く光学系と、上記観察物体における光の照射場所と上記光検出器の出力とを、対応付けて表示する表示装置とを備えた共焦点走査顕微鏡。
IPC (2件):
G02B 21/00 ,  G02B 6/00 301

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