特許

J-GLOBAL ID：200903056646016569

ステージ装置

発明者： 石井 信雄
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087270
公開番号（公開出願番号）：特開平9-008114
出願日： 1996年03月16日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【課題】 リーク電流を生ずることなく、載置面上の静電荷を迅速に除去することができ、載置面から基板を容易に離脱させることができるステージ装置を提供する。【解決手段】 ステージ装置は、セラミック製の基板載置面13aを持つ静電チャック部13と、この静電チャック部の下部に連続するように、静電チャック部とともに一体成形された支持ブロック12と、静電チャック部の中に埋め込まれ、基板載置面に基板を吸着保持するための電荷を生じさせる少なくとも1つの電極14と、基板載置面から基板を離脱させるときに基板載置面に存在する電荷を除去するために、静電チャック部を構成する前記セラミック中に分散させた添加物粒子71とを備え、セラミックに対する添加物粒子の含有率は、電極から支持ブロックのほうに向けて移行するに従って減少する。

請求項（抜粋）：

セラミック製の基板載置面を持つ静電チャック部と、この静電チャック部の下部に連続するように、前記静電チャック部とともに一体成形された支持ブロックと、前記静電チャック部の中に埋め込まれ、直流の印加によって前記基板載置面に基板を吸着保持するための電荷を生じさせる少なくとも1つの電極と、前記基板載置面から基板を離脱させるときに、前記基板載置面に存在する電荷を除去するために、前記静電チャック部を構成する前記セラミック中に分散させた添加物粒子とを備え、前記セラミックに対する前記添加物粒子の含有率は、前記電極から前記支持ブロックのほうに向けて移行するに従って減少するように構成したことを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  B23Q 3/15

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/205 ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/302 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-070162   出願人：信越化学工業株式会社
• 静電チヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-246965   出願人：東陶機器株式会社
• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-273581   出願人：日電アネルバ株式会社

審査官引用 (3件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-070162   出願人：信越化学工業株式会社
• 静電チヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-246965   出願人：東陶機器株式会社
• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-273581   出願人：日電アネルバ株式会社