光電子分光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：猪熊克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-333387
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166364
出願日： 1994年12月15日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】小型で容易な装置構成で物質の微小領域の分析を行うことができる光電子分光装置を提供する。【構成】X線源1から発生するX線を照射光学系5によってX線マイクロビームに集光し、該X線マイクロビームを分析しようとする試料6に照射して、試料6から放出される光電子を観測する光電子分光装置において、X線源としてレーザープラズマX線源1を用い、該レーザープラズマX線源1と照射光学系5との間に、可視光を透過しX線を遮断する第1のフィルター2aと、可視光を遮断しX線を透過する第2のフィルター2bとを切替え自在に配置し、該フィルター2a,2bと照射光学系5との間に、X線を分光して集光するX線分光器3を配置し、照射光学系5を、X線のほか可視光に対しても集光可能に形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

X線源から発生するX線を照射光学系によってX線マイクロビームに集光し、該X線マイクロビームを分析しようとする試料に照射して、試料から放出される光電子を観測する光電子分光装置において、前記X線源としてレーザープラズマX線源を用い、該レーザープラズマX線源と前記照射光学系との間に、可視光を透過しX線を遮断する第1のフィルターと、可視光を遮断しX線を透過する第2のフィルターとを切替え自在に配置し、該フィルターと前記照射光学系との間に、X線を分光して集光するX線分光器を配置し、前記照射光学系を、X線のほか可視光に対しても集光可能に形成したことを特徴とする光電子分光装置。

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